아산화질소(N2O) 생산 및 정화 장비는 2023년 12월 10일 시운전에 성공했습니다. 소유주인 Suzhou Innovator Materials Co., Ltd.는 반도체 가스, 소재 R&D, 국산화 프로젝트를 포함한 전자 특수 가스의 R&D, 제조, 판매를 전문으로 하는 회사입니다. 자사 제품은 주로 유럽, 미국, 말레이시아, 태국 및 기타 지역으로 수출됩니다.
프로젝트 1단계 부지는 28680㎡이며 연간 생산량은 전자급 아산화질소 6000톤, 전자급 혼합가스 80톤이다. 이 프로젝트는 현재 중국에서 가장 큰 생산 능력을 보유하고 있으며 완전한 현지화를 달성함으로써 국가 집적 회로 산업의 급속한 발전을 가속화하고 있습니다.
성급 중점사업으로 지정된 2단계 확장사업은 약 73370㎡ 규모로 연구개발(R&D) 및 테스트센터를 건립하게 된다. 주로 혼합 가스, 탄화불소 가스, 전구체 가스 및 5N 순도 이상의 고순도 특수 전자 가스 37종에 대한 R&D 및 테스트에 참여할 예정입니다.
